-Jedna/dva vrata
Okvir i komora su izrađeni od ugljičnog nehrđajućeg čelika.
Svaka vrata imaju prozor za pregled za vizuelnu kontrolu procesa.Zidovi vrata imaju oblogu od nerđajućeg čelika koja se lako uklanja radi održavanja.
- Prilagođena vakuumska komora
Komora omogućava lako uklanjanje unutrašnjih obloga od nerđajućeg čelika radi čišćenja.
Pumpe stoje na njegovom stražnjem dijelu.
Komora ima niz malih prirubnica za potrebe mjerenja.
- Sistem za pumpanje visokog vakuuma
Difuzijska pumpa+Booster pumpa+Mehanička pumpa
-Vakumsko mjerenje i kontrola
Sa metalnim Pirani mjeračem+metalnim ionizacijskim mjeračem
-Sistem za pomicanje
-PLC upravljačka jedinica
-Aluminijski sistem za isparavanje sa transformatorom velike snage
-Gvozdeni okvir
Struktura je razumna
Sloj filma je ujednačen
Kvaliteta formiranja filma
Velika brzina pumpanja, kratak radni ciklus i visoka efikasnost proizvodnje
Rad je zgodan
Niska potrošnja energije i stabilne performanse
Broj modela | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dostupni su dvovratni ili dvokomorni model | |
Dimenzije vakuumske komore (prečnik*visina) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materijal vakuumske komore | Ugljični čelik, SUS304 ili SUS316L | ||||||
Tehnologija rada | vakuum otporno isparavanje sa volframovim i aluminijskim filamentima, isparavajući transformator velike snage | ||||||
Sistem za pumpanje | Difuzijska pumpa+mehaničke pumpe, buster pumpa | ||||||
Vrijeme pumpanja | Od atmosfere do 5,0*10-2Pa manje od 8 minuta | ||||||
Vacuum Limit | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Radna temperatura | Sobna temperatura | ||||||
Radni režim | Automatski ili ručni način rada, 10,4 inča PLC dodiruje ekran | ||||||
Totalna snaga | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Otisak stopala | 2*2 metra | 2*3 metra | 3*3 metra | 3*3 metra | 3*4 metra | 4*5 metara | 5*6 metara |
Ove jedinice možete napraviti po narudžbi | 1. Veličina vakuumske komore 2. Konfiguracije pumpi | ||||||
Opcioni instrumenti | 1. Detektor curenja 3. Sistem ionskog taloženja luka 4. Magntron sistem raspršivanja |