Inline Magnetron Sputtering sistem
Inline mašina za magnetron raspršivanje je uglavnom DC (ili MF) magnetron raspršivanje premaz može se prilagoditi širokom spektru ciljeva, kao što su: bakar, titan, krom, nehrđajući čelik, nikl i drugi metalni materijali koji se mogu obložiti postupkom raspršivanja može poboljšati adheziju filma, ponovljivost, gustoću, uniformnost i druge karakteristike.
- a.Osnovne karakteristike i parametri
- b.horizontalna linijska struktura može se realizovati istovremeno premazana s jedne strane
- c.efikasnost proizvodnje, najveće brzine do 1 min/otkucaj
- d.modularni dizajn, lako održavanje
- e.zrelost procesa pozajmljivanja, visok prinos
- f.DC magnetronske katode za raspršivanje mogu se razlikovati ovisno o zahtjevima kupaca
- g.Vakum sistem se sastoji od mehaničke pumpe, Roots pumpe, difuzionih pumpi (molekularne pumpe) Sastav
- h.Veličina tijela linije može varirati ovisno o zahtjevima kupca
- 1) Korišteni materijali tijela vakuumske komore SUS304, poliranje zidova vakuumske komore, obrada perli za poliranje vanjskih zidova sprejom.
- 2) Koristeći nezavisnu zasun između vakuum komore - klapni ventil odvojeno, može efikasno prekinuti, stabilizovati procesni gas.Trenutno naša kompanija usvaja dizajn ventila sa zaklopkom, bolje zatvara, izdržljiviji od trenutnog domaćeg zajedničkog ventila sa klapnom.
- 3) Prijenos koristi magnetni vodič, štiti stabilnost pogona.Za svaku brzinu cijele proizvodne linije koja koristi VVVF motorni pogon, brzina rada se može podesiti.
- 4) Električni kontrolni sistem: automatska kontrola ekrana na dodir i PLC-a, dijalog čovek-mašina za postizanje sistema prikaza podataka, radnih parametara i kontrolne tehnologije
- 1) Krajnji vakuumski pritisak: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) prosječni ciklus proizvodnje: prema utvrđenom proizvodu
- 3) Veličina držača podloge: može se prilagoditi prema zahtjevima
- 4) Ujednačenost filma: ± 3% napredna tehnologija mobilnih polja uvelike je poboljšala iskorištavanje cilja
- Segmentirani dizajn grijača je pogodan za optimizaciju procesa.
Napišite svoju poruku ovdje i pošaljite nam je
