Linija za magnetno raspršivanje aluminijumskih ogledala
Kratki opis:
Linija za inline magnetronsko raspršivanje aluminijumskih ogledala je dizajnirana za visok učinak u svrhu proizvodnje staklenih ogledala.Kako bismo premazali veće staklo i vodili računa o lomljivom staklenom panelu, posebno za velike listove, obično radimo horizontalnu liniju za prskanje.To je kontinuirana linija za nanošenje magnetrona, sa prednjom i zadnjom grubom pumpnom komorom, a nakon prijelazne komore, prije i poslije fine pumpne komore, tampon komorom, prostorijom za bojenje.
Dizajn mete: cilindrične katode za raspršivanje magnetrona i/ili planarne katode.
Izvor napajanja: napajanje sa DC ili MF magnetronskim raspršivanjem velike snage
Pogonski sistem: pogon na valjke, podesiv po frekvenciji, sistem otvaranja sobnih vrata indukcionog tipa.
Linija za magnetno raspršivanje aluminijumskih ogledala obično dolazi sa više vakuumskih komora za završetak vakuumskog premaza na staklenim listovima.
Glavne karakteristike:
1.Max.veličina premaza stakla:2440x3660mm ili prilagođeno
2. Dostupne su viševakumske komore i višestruki dizajn komore za raspršivanje
3. Horizontalna magnetna kontrolna linija ima jednokrajnu i dvostruku strukturu;dvostruko čišćenje stakla, premazivanje, detekcija, farbanje, sušenje, hlađenje može se završiti sve u jednom trenutku
4. Linija za nanošenje raspršivanjem koristi PLC za kontrolu cijelog procesa i opremljena je ekranom u boji za prikaz podataka procesa nanošenja premaza
Sloj premaza: titanijum, hrom, nerđajući čelik, aluminijum, srebro, bakar itd.
Jedinjenje: TiN, TiO2, itd.
Debljina sloja: 5-100nm
Prenos: 8-40% na talasnim dužinama 380-780 nm
Temperatura taloženja: sobna temperatura
Krajnji pritisak nakon ispumpavanja od 8 sati:
Ulazna komora za zaključavanje i vakuumska komora za zaključavanje: 5×10-1 Pa ili ispod
Pufer komora 1 : 3×10-3 Pa ili ispod
Komora za raspršivanje: 2×10-3 Pa ili manje
Pufer komora 2 : 3×10-3 Pa ili ispod
Izlazna komora za zaključavanje i vakuumska komora za zaključavanje: 5×10-1 Pa ili ispod